超純水處理

2022-11-09 22:03:18

超純水制備.jpg

半導(dǎo)體工業(yè)的電子芯片是我國(guó)的大宗進(jìn)口商品，我國(guó)的芯片行業(yè)發(fā)展比較緩慢，近期國(guó)家的政策也傾向于大力發(fā)展自主性的半導(dǎo)體芯片。在半導(dǎo)體行業(yè)，超純水不同于其他行業(yè)的超純水的要求，有極其嚴(yán)苛的水質(zhì)要求。

超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過(guò)程

超純水處理:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。

超純水處理，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm(25℃)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，很多電子元器件生產(chǎn)過(guò)程中需要大量超純水，且對(duì)水質(zhì)要求特別嚴(yán)苛。由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分；在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床+陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿，對(duì)環(huán)境更友好；

2.克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對(duì)較長(zhǎng)；

3.超濾反洗排水、一級(jí)RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施，利于節(jié)能減排；

4.節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。

產(chǎn)品應(yīng)用

預(yù)處理部分

1.多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器;

2.粗過(guò)濾器+超濾裝置。

反滲透部分

反滲透膜

電去離子部分