在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中，幾乎各個(gè)工序都會(huì)用到超純氣體， 器件的質(zhì)量與超純氣體的純凈度密切相關(guān)。

超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學(xué)試劑。為適應(yīng)一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對(duì)氣體要求特別純凈的部門(mén)，需要超純氣體的純度高達(dá)99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)小于三個(gè)。

超純氣體的制備大多是從工業(yè)氣體加以純化，有吸附法、吸收法、薄膜擴(kuò)散法、電解法、生化法、輻射法、光解法、低溫精餾法、催化法等。例如超純氫、氮、氦、氬，先通過(guò)空氣分離提取較純氣體，再經(jīng)低溫吸附得到超純氣體;粗氬也可以從合成氨弛放氣中提取;粗氪、氙從核裂變氣中提取，再經(jīng)純化而得超純氣體。

半導(dǎo)體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進(jìn)一步精制得到，根據(jù)原料氣來(lái)源情況、雜質(zhì)組份含量、純度要求來(lái)選擇相應(yīng)的制備方法。集成電路發(fā) 展到兆位級(jí)后，對(duì)超凈提出了更嚴(yán)格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動(dòng)或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過(guò)濾器。

半導(dǎo)體元件因其高集成化，制作芯片上的電子電路的最小加工線寬度變得更微細(xì)，16k位電路線寬、線路間距為4~7微米，而256k位電路為0.8~1.5微 米；這種微細(xì)的加工允許的微粒子的最小粒徑是加工尺寸的1/5~1/10，故對(duì)于64k位隨機(jī)存取記憶，存在0.3微米的粒子會(huì)成為問(wèn)題，對(duì)于 256k~1M位隨機(jī)存取記憶，某一段存在0.1微米的粒子就會(huì)成為問(wèn)題。在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中, 幾乎各道工序都用到超純氣體, 元件的質(zhì)量與超純氣體的純凈度密切相關(guān)。

相關(guān)產(chǎn)品：

氣體過(guò)濾器 

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