半導(dǎo)體生產(chǎn)制造前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片（未切割的單晶硅材料是一種薄型圓片叫晶圓片,是半導(dǎo)體行業(yè)的原材料，切割后叫硅片，通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件），切割多采用線切割原理，在切割過程中會產(chǎn)生大量的廢砂漿。廢砂漿的主要成分為大量的聚乙二醇、碳化硅、硅粉以及少量的鐵屑。其中切割液和碳化硅具有很高的回收利用價值 。
晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長、晶棒裁切與檢測、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序；研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。
在此產(chǎn)生過程中的問題有：1、廢水處理不當(dāng)或直接排放會污染環(huán)境；2、處理過的水不加以回收造成水資源浪費(fèi)嚴(yán)重；3傳統(tǒng)的處理方式有局限性（占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定）等問題。
YQSTEC生產(chǎn)的過濾設(shè)備應(yīng)用：
生產(chǎn)中上層清液溢流至中間水箱，經(jīng)中間水泵將清水加壓后進(jìn)一步過濾，經(jīng)YQSTEC生產(chǎn)的10微米不銹鋼袋式過濾器、1微米的精密濾芯過濾器、活性炭吸附裝置及終端0.2微米的精密過濾器過濾之后進(jìn)入終端水箱，經(jīng)終端送水泵將系統(tǒng)完全處理的回用水送至超濾產(chǎn)水箱，可直接進(jìn)反滲透裝置以繼續(xù)生產(chǎn)超純水。
相關(guān)設(shè)備：
相關(guān)資料：
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技術(shù)支持：
設(shè)備咨詢前請完善我司工況調(diào)查表，以便我司工程師提供更完善的過濾方案！
常用過濾設(shè)備-流體化學(xué)適應(yīng)性表；
規(guī)范過濾機(jī)濾布的更換、使用和維護(hù)；
